特長: | ノズルフラッパによるパイロット圧力制御方式を採用しています。設定圧力範囲内で高精度・高安定な精密圧力制御が可能です。特に微圧・低圧域の制御に優れた精密レギュレータです。 |
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仕様: | 設定圧力(MPa):0.003~0.2使用圧力(MPa):1処理空気流量([[M3]]/min):0.4接続口径:Rc1/4全長(mm):99全幅(mm):42使用流体:圧縮清浄空気流体温度():-5~60(凍結なきこと)最高使用圧力(MPa):1流体温度:-5~60(凍結なきこと)感度:フルスパンの0.1%以内繰返し性:フルスパンの±0.5%以内流体通路部:ノングリス仕様 |
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